发明名称 Z AXIS ORIGIN FINDER FOR IN-CIRCUIT TESTER
摘要
申请公布号 JPH04233481(A) 申请公布日期 1992.08.21
申请号 JP19900416500 申请日期 1990.12.28
申请人 HIOKI EE CORP 发明人 MIYASAKA TAKAO
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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