| 发明名称 |
METHOD FOR ADJUSTING THICKNESS OF PHOTORESIST FILM AND STABILITY OF ELECTRODEPOSITION VESSEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04228598(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
| 申请号 |
JP19910061835 |
申请日期 |
1991.03.26 |
| 申请人 |
SHIPLEY CO INC |
发明人 |
ROBAATO II HOOKINSU;SUTEIIBUN ESU RODORIGEZU |
| 分类号 |
C23F1/00;C09D5/44;C25D13/10;G03F7/004;G03F7/16;H05K1/02;H05K3/00;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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