发明名称 CAPACITIVE-TYPE ABSOLUTE PRESSURE SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 SU1753312(A1) 申请公布日期 1992.08.07
申请号 SU19904823722 申请日期 1990.05.15
申请人 NII FIZICHESKIKH IZMERENIJ 发明人 SKOPICH VLADIMIR I,SU;SIVENKOV NIKOLAJ I,SU;CHUGUNOV ALEKSANDR V,SU;SEMENOV ALEKSANDR A,SU
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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