| 发明名称 |
FORMATION OF POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04209521(A) |
申请公布日期 |
1992.07.30 |
| 申请号 |
JP19900400268 |
申请日期 |
1990.12.04 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAKINUMA HIROAKI;MORI MIKIO;SAKAMOTO KATSUAKI |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
