发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04206826(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900338117 申请日期 1990.11.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OOE KIKUYO;ODANAKA SHINJI;UMIMOTO HIROYUKI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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