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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur optischen Schichtdickenmessung duenner Schichten waehrend ihrer Herstellung durch Aufdampfen im Vakuum
摘要
申请公布号 DE1276976(B) 申请公布日期 1968.09.05
申请号 DE196300L4018 申请日期 1963.01.28
申请人 LABORATORNI PRISTROJE, NARODNI PODNIK 发明人 MILACEK STANISLAV
分类号 C23C14/54;G01B11/06 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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