发明名称 MIRROR FOLLOW-UP DEFECT INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04204360(A) 申请公布日期 1992.07.24
申请号 JP19900339683 申请日期 1990.11.30
申请人 KIRIN TEKUNO SHISUTEMU:KK 发明人 FUKUCHI HIROYUKI;ISHIKURA TORU
分类号 G01N21/90;H04N5/232 主分类号 G01N21/90
代理机构 代理人
主权项
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