发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING EEPROM MEMORY CELLS HAVING A SINGLE LEVEL OF POLYSILICON AND THIN OXIDE BY USING DIFFERENTIAL OXIDATION
摘要
申请公布号 US5132239(A) 申请公布日期 1992.07.21
申请号 US19900574677 申请日期 1990.08.30
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 GHEZZI, PAOLO;RIVA, CARLO;VALENTINI, GRAZIA
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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