发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04199528(A) 申请公布日期 1992.07.20
申请号 JP19900335406 申请日期 1990.11.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAMOTO TAKASHI;KITAJIMA KATSU
分类号 G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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