| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MATERIAL AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04198439(A) |
申请公布日期 |
1992.07.17 |
| 申请号 |
JP19900325609 |
申请日期 |
1990.11.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
ITO YOSHIAKI;UENISHI NOBORU;TAKEDA YOSHINOBU |
| 分类号 |
C22C1/04;C22C9/00;C22C27/06;H01L23/14 |
主分类号 |
C22C1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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