一种四极式宽量程电离规管

摘要

一种四极式宽量程电离规管，属于真空技术领域。在三极式电离规管中增加第二阳极，其材质为钨、钼、可伐或镍等，呈杆状或片状两根，通过支架相联。此两根第二阳极位于第一阳极和收集极之间，平行且对称布置在阴极两侧。测量高真空时用第一阳极，测量低真空时用第二阳极。本实用新型的线性量程范围宽达50Pa至10-6Pa，覆盖工业常用真空度测量范围。

主权项

1、一种电离规管，其特征是在三极式热阴极电离规管中附加一个第二阳极，即本实用新型具有阴极、第一阳极、第二阳极和收集极等四个电极。