发明名称 CARRYING ROBOT FOR WAFER STORING JIG
摘要
申请公布号 JPH04189483(A) 申请公布日期 1992.07.07
申请号 JP19900314048 申请日期 1990.11.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA MINORU;HAMADA TOYOHIDE
分类号 B25J9/06;B25J17/02 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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