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经营范围
发明名称
CARRYING ROBOT FOR WAFER STORING JIG
摘要
申请公布号
JPH04189483(A)
申请公布日期
1992.07.07
申请号
JP19900314048
申请日期
1990.11.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
IKEDA MINORU;HAMADA TOYOHIDE
分类号
B25J9/06;B25J17/02
主分类号
B25J9/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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