发明名称 MANUFACTURE OF CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04186853(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900314423 申请日期 1990.11.21
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 OGASAWARA SHUICHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址