| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04177876(A) |
申请公布日期 |
1992.06.25 |
| 申请号 |
JP19900306470 |
申请日期 |
1990.11.13 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
HAYASHI YOSHIHIRO;KOYAMA KENICHI;KUNIO TAKEMITSU |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
