发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04179222(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900307495 申请日期 1990.11.14
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 YOSHIDA KIYOTERU;KIKUTA TOSHIO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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