发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH04177810(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900307454 申请日期 1990.11.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;ULVAC JAPAN LTD 发明人 KATSUBE ATSUSHI;KOJIMA JUNJI;YOSHIDA ZENICHI;HAGA MIKIO;IIJIMA MASAYUKI;TAKAHASHI YOSHIKAZU
分类号 H01G4/33;H01G4/06 主分类号 H01G4/33
代理机构 代理人
主权项
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