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发明名称 EQUIPMENT AND METHOD FOR MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH04174513(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900301715 申请日期 1990.11.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA TAKESHI;SAITO JUNJI;ONO KATSUJI
分类号 H01L21/203;C30B23/08 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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