发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 US5120667(A) 申请公布日期 1992.06.09
申请号 US19910778750 申请日期 1991.10.18
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 TARUI, KEIJI;MORITA, TATSUO;TSUCHIMOTO, SHUHEI
分类号 H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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