发明名称 FABRICATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04158533(A) 申请公布日期 1992.06.01
申请号 JP19900285452 申请日期 1990.10.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII TAKAYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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