发明名称 MEASUREMENT OF ELECTRIC CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR PELLET
摘要
申请公布号 JPH04148543(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900274278 申请日期 1990.10.12
申请人 DOWA MINING CO LTD 发明人 YASUDA KOKI;SENBOKUYA NOBORU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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