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发明名称 POSITIONING STAGE
摘要
申请公布号 JPH04136705(A) 申请公布日期 1992.05.11
申请号 JP19900256916 申请日期 1990.09.28
申请人 HITACHI DENSHI LTD;HITACHI LTD 发明人 TOMINAGA KAN;SHINODA YUKIO;KIKUCHI HIDEKAZU;KURAKAZU YOSHIRO;MORIYAMA SHIGEO
分类号 G01B21/00;F16H25/24;G12B5/00 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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