| 发明名称 |
FINE ADJUSTMENT MECHANISM OF SCANNING TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04132904(A) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
| 申请号 |
JP19900256315 |
申请日期 |
1990.09.26 |
| 申请人 |
HATAMURA YOTARO;HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
HATAMURA YOTARO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/00;G01B21/20;G01B21/30;G01Q10/04;G01Q60/10;G05D3/00;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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