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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04132221(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900254463 申请日期 1990.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 MAEDA AKIYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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