发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04132262(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900254445 申请日期 1990.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 NUKADA YASUAKI;TAKEDA KAZUHARU
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址