发明名称 COMPOSITION CONTROL METHOD OF II-VI COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04130738(A) 申请公布日期 1992.05.01
申请号 JP19900252247 申请日期 1990.09.21
申请人 DAIDO STEEL CO LTD 发明人 SAKA TAKASHI
分类号 H01L21/365 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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