| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04124813(A) |
申请公布日期 |
1992.04.24 |
| 申请号 |
JP19900244023 |
申请日期 |
1990.09.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OGAWA KAZUHIRO;AOYAMA TAKASHI;MOCHIZUKI YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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