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经营范围
发明名称
INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04119647(A)
申请公布日期
1992.04.21
申请号
JP19900239750
申请日期
1990.09.10
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ABE YUICHI
分类号
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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