发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04115532(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900236355 申请日期 1990.09.05
申请人 SHARP CORP 发明人 OKAZAKI SHINGO
分类号 H01L21/768;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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