发明名称 METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING
摘要
申请公布号 JPH04115519(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900234843 申请日期 1990.09.05
申请人 JEOL LTD 发明人 SATO HITOSHI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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