发明名称 PRODUCTION OF SILVER SINGLE CRYSTAL THIN FILM AND ARTIFICIAL METAL LATTICE
摘要
申请公布号 JPH04116163(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900232086 申请日期 1990.08.31
申请人 NEC CORP 发明人 MITSUZUKA TSUTOMU;KAMIJO ATSUSHI
分类号 C23C14/18;C23C14/14;C23C14/46;C30B23/02;C30B29/68 主分类号 C23C14/18
代理机构 代理人
主权项
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