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发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE FOR FORMING MULTILAYERED FILMS
摘要
申请公布号 JPH04116169(A) 申请公布日期 1992.04.16
申请号 JP19900236677 申请日期 1990.09.05
申请人 SHIN MEIWA IND CO LTD 发明人 HANAKI KATSUTADA
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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