发明名称 SINGLE BEAM AC INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 EP0414889(A4) 申请公布日期 1992.04.15
申请号 EP19900906617 申请日期 1990.02.28
申请人 WAYNE STATE UNIVERSITY 发明人 THOMAS, ROBERT, L.;KUO, PAO-KUANG;FAVRO, LAWRENCE, D.
分类号 G01N21/27;G01H9/00;G01J9/02;G01N3/06;G01N21/17;G01N21/55;G01N29/24;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01N21/27
代理机构 代理人
主权项
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