摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Stapelanordnung aus Scheiben, die aus piezoelektrischem oder elektrostriktivem Material bestehen. Dieser Aktuatorstapel findet Anwendung für die mechanische Feinpositionierung im µm-Bereich. Die spezielle Elektrodengestaltung auf den Scheiben führt zu einer starken Abweichung des Wirkquerschnitts des Stapels von seiner beispielsweisen Kreisform. Dadurch kommt es zu unerwünschten Auswirkungen auf die mechanischen Spannungsverhältnisse beim Betrieb des Stapels. Diese innere Spannungen sollen im Betriebsfall minimiert werden. Erfindungsgemäß ist die Querschnittsfläche des Wirkvolumens des Stapels, d.h. seine wirksame Elektrodenfläche, eine auf jeder Scheibe um vier Kreisabschnitte verminderte Kreisform, deren bestimmende benachbarte Sekanten jeweils um 90° versetzt sind, wodurch zusammen mit der Stapelhöhe das aktive, ein einen bezüglich der Wirkachse im wesentlichen rotationssymmetrischen Körper darstellendes Wirkvolumen definiert ist. <IMAGE>
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