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发明名称 METHOD OF PRODUCING ORIENTED SILICON FILMS ON OXIDIZED SILICIUM BY LATERAL EPITAXY METHOD
摘要
申请公布号 SU1724744(A1) 申请公布日期 1992.04.07
申请号 SU19904844535 申请日期 1990.06.28
申请人 INST KRISTALLOGRAFII IM.A.V.SHUBNIKOVA 发明人 LIMANOV ALEKSANDR B,SU;MOLOSTVOV ALEKSANDR N,SU;PASHKUDENKO VALERIJ P,SU
分类号 C30B13/00;C30B29/06;H01L21/20 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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