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发明名称 SILICON CARBIDE BARRIER BETWEEN SILICON SUBSTRATE AND METAL LAYER
摘要
申请公布号 US5103285(A) 申请公布日期 1992.04.07
申请号 US19880286611 申请日期 1988.12.19
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 FURUMURA, YUJI;MIENO, FUMITAKE;ESHITA, TAKASHI;ITOH, KIKUO;DOKI, MASAHIKO
分类号 H01L21/205;H01L29/45;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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