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发明名称 INSPECTION OF FOREIGN SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPH04103144(A) 申请公布日期 1992.04.06
申请号 JP19900222019 申请日期 1990.08.22
申请人 SHARP CORP 发明人 OKI ICHIRO
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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