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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04102343(A)
申请公布日期
1992.04.03
申请号
JP19900221871
申请日期
1990.08.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKAMOTO MITSUO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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