METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR-DEPOSITING COMPOUND AT HIGH SPEED,申请号JP19900212634-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR-DEPOSITING COMPOUND AT HIGH SPEED
摘要
申请公布号	JPH0499265(A)	申请公布日期	1992.03.31
申请号	JP19900212634	申请日期	1990.08.11
申请人	NISSHIN STEEL CO LTD	发明人	FUKUI YASUSHI;MIZUNO ATSUSHI;NAKAMOTO KAZUNARI;YOSHII TSUGUYASU
分类号	C23C14/24;C23C14/30	主分类号	C23C14/24
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