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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR CVD
摘要
申请公布号
JPH0499873(A)
申请公布日期
1992.03.31
申请号
JP19900214665
申请日期
1990.08.14
申请人
NIPPON SANSO KK
发明人
HIDAKA JUNICHI
分类号
C30B25/10;C23C16/46;H01L21/205
主分类号
C30B25/10
代理机构
代理人
主权项
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