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发明名称 PRDUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5216164(A) 申请公布日期 1977.02.07
申请号 JP19750092258 申请日期 1975.07.29
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 SATSUMA AKIJI
分类号 H01L21/02;H01L23/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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