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发明名称 CONTINUOUS FRAME AND MANUFACTURING APPARATUS USING SAME
摘要
申请公布号 JPH0496262(A) 申请公布日期 1992.03.27
申请号 JP19900205988 申请日期 1990.08.03
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 INOUE SEIICHI;NAGAI TERUHISA;IRIE SOTOSHI;NAKAMURA ISAO;YUASA YASUMASA
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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