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发明名称 COOLING STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0491459(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900205025 申请日期 1990.08.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGANUMA YOSHIO;OUCHI KAZUNORI;MORIHARA ATSUSHI;SATO YASUSHI
分类号 H01L23/427 主分类号 H01L23/427
代理机构 代理人
主权项
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