发明名称 METHOD OF MAKING SEMI-INSULATING GALLIUM ARSENIDE BY OXYGEN DOPING IN METAL-ORGANIC VAPOR PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 US5098857(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 US19890455695 申请日期 1989.12.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 KUECH, THOMAS F.;TISCHLER, MICHAEL A.
分类号 C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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