| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5098638(A) |
申请公布日期 |
1992.03.24 |
| 申请号 |
US19900513812 |
申请日期 |
1990.04.25 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
SAWADA, SHIGEKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331;H01L21/60;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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