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发明名称 MANUFACTURE OF FILM CARRIER TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0488646(A) 申请公布日期 1992.03.23
申请号 JP19900203316 申请日期 1990.07.31
申请人 NEC CORP 发明人 OOSHIGE KOUJI
分类号 H01L21/603;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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