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发明名称 BEHANDLUNG VON HALBLEITERN.
摘要
申请公布号 DE3585352(D1) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 DE19853585352 申请日期 1985.04.29
申请人 NORTHERN TELECOM LTD., MONTREAL, QUEBEC, CA 发明人 GREENE, PETER DAVID, HARLOW ESSEX CM18 6YG, GB;RENNER, DANIEL S.O. C/O MARIJO JONES, P.O. BOX 10462 DALLAS TEXAS 75207, US
分类号 C30B23/06;C23C16/448;C30B23/02;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/205;H01S5/20;H01S5/227;(IPC1-7):H01L21/205;H01L33/00;C30B25/22 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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