| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA CVD APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0449081(A3) |
申请公布日期 |
1992.03.18 |
| 申请号 |
EP19910104209 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
NEW JAPAN RADIO CO., LTD. |
发明人 |
TAKAMURA, FUMIO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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