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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LEITENDEN STRUKTUR AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 DE3868178(D1) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 DE19883868178 申请日期 1988.07.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CRONIN, JOHN E., MILTON VERMONT 05468, US;KAANTA, CARTER W., COLCHESTER VERMONT 05446, US
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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