发明名称 HIGH ASPECT GROOVE EMBEDDING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0479008(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900193690 申请日期 1990.07.20
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 KUDO ICHIRO
分类号 C23C14/22;C23C14/34;G11B5/31;H01L21/285;H01L21/363 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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