CHEMICAL VAPOR PHASE GROWTH METHOD,申请号JP19900215401-传众专利搜索

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发明名称	CHEMICAL VAPOR PHASE GROWTH METHOD
摘要
申请公布号	JPH0472068(A)	申请公布日期	1992.03.06
申请号	JP19900215401	申请日期	1990.08.14
申请人	MARUYAMA TOSHIRO	发明人	MARUYAMA TOSHIRO
分类号	C23C16/40	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
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